中圖儀器3d形貌輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級數(shù)據(jù)處理與分析的光學測量儀器?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

粗糙度分析操作步驟：

1. 將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定；

2. 將夾具放置在載物臺上；

3. 檢查電機連接和環(huán)境噪聲，確認儀器狀態(tài)；

4. 使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；

5. 完成掃描設置和命名等操作；

6. 點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會）；

7. 進入數(shù)據(jù)處理界面，點擊“去除外形"，采用默認參數(shù)，點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓；

8. 進入分析工具模塊，點擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點擊右側(cè)參數(shù)標準可更換參數(shù)標準，增刪參數(shù)類型；

9. 如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線；

10. 進入數(shù)據(jù)處理界面，點擊“提取剖面"圖標，選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提??；

11. 進入分析工具界面，點擊“參數(shù)分析"圖標，點擊右側(cè)參數(shù)標準，勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。

應用

微光學器件粗糙度

光學鏡片表面粗糙度測量

手機配件表面粗糙度輪廓測量

中圖儀器3d形貌輪廓儀雙重防撞保護措施

（1）軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設置停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷。