隨著科技進(jìn)步，顯微測量儀器以滿足日益增長的微觀尺寸測量需求而不斷發(fā)展進(jìn)步。多種高精度測量儀器被用于微觀尺寸的測量，其中包括光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）、共聚焦顯微鏡和臺(tái)階儀。有效評估材料表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，從而指導(dǎo)生產(chǎn)過程、優(yōu)化產(chǎn)品性能。

光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）

光學(xué)3D表面輪廓儀是一種利用白光干涉原理進(jìn)行非接觸式測量的高精度儀器。它通過分析反射光的干涉模式來重建表面的三維形貌。

非接觸無損測量，超高縱向分辨率，測量從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面。測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等等）；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求超高的光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造與封裝、超精密加工、3C產(chǎn)業(yè)鏈等，同時(shí)在航空航天、國防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域也存在普遍使用。它能以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

共聚焦顯微鏡

共聚焦顯微鏡以共軛共焦技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面3D微觀形貌檢測的精密光學(xué)儀器。

非接觸式無損檢測方式，復(fù)雜結(jié)構(gòu)的大角度形貌測量能力，優(yōu)異的橫向分辨率，低反射率表面的適應(yīng)性強(qiáng)。

共聚焦顯微鏡廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求非常高的光伏太陽能、半導(dǎo)體封裝、激光加工、光學(xué)膜材、3C產(chǎn)業(yè)鏈等制造業(yè)，同時(shí)在航空航天、國防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域也存在普遍使用。

臺(tái)階儀

臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

臺(tái)階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性，廣泛用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求。

在實(shí)際應(yīng)用中，選擇合適的測量儀器需要綜合考慮樣品的性質(zhì)、測量需求和精度要求。通過合理利用這些先進(jìn)的測量技術(shù)，可以有效提升微觀特征輪廓尺寸測量的準(zhǔn)確性和可靠性，為科研和工業(yè)生產(chǎn)提供堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。